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【48812】碳化硅出产的根本工艺docx
来源:新闻动态  添加时间:2024-04-29 07:34:33

  在碳化硅的出产的悉数过程中, 回炉料的要求: 包括无定形料、 二级料, 应知足以下 SiC80% ,

  SiO2+Si10% ,固定碳 5% ,杂质 % 。

  焙烧料的要求: 未反应的物料层必定配人必定的焦炭、木屑、 食盐后做焙烧料。参加量

  (以 100t 计 )焦炭 0~50kg,木屑 30~50L ,食盐 3%~4% 。

  保温料的要求:新开炉需求配保温料。焦炭与石英之比为 。如用乏料代特应切合如

  下要求: SiC25% , SiO2+Si35% , C 20%,其他 %。

  参加食盐的意图是为了铲除材料的铁、铝等杂质,加人木屑是便于铲除生成的一氧化

  炉芯放在配料制成的底盘上,中心略杰出以适应在炉役过程中呈现的陷落。炉芯上部

  铺放混好的配料,一起也放非晶材料或出产未反应料,炉子装好后构成中心高、两头低

  开端生成 β-SiC,从 2100℃开端转变成 α-SiC ,2400℃一切转变成 α-SiC 。组成时刻为 26~36h,

  冷却 24h 后可以洒水冷却, 出炉后分层、 分级选择。 决裂后用硫酸酸洗, 除掉组成猜中的铁、

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