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  • 半导体碳化硅陶瓷的化学功能有哪些?
来源:换热器管    发布时间:2023-12-22 11:22:11
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  碳化硅陶瓷现在被广泛的应用着,尤其是在半导体设备上,被制作成各种零件,那么碳化硅陶瓷有咋样的化学功能呢,加工他的难度大吗?下面钧杰陶瓷小编为咱们叙述回答一下。

  众所周知碳化硅陶瓷的硬度是十分大的,所以在加工的这方面是十分的难的因为氮化硅陶瓷硬度高,导致它的加工难度大幅度的提高。

  碳化硅的化学稳定性与其氧化特性有密切关系。碳化硅自身很简单氧化, 但它氧化之后形成了一层二氧化硅薄膜, 氧化进程逐渐被阻止。在空气中, 碳化硅于800 ℃时就开端氧化, 但很缓慢;跟着温度上升, 则氧化速度急速加速。碳化硅的氧化速率, 在氧气中比在空气中快1.6倍;氧化速率的速度跟着时间推移而减慢。假如以时间推移对氧化的数量描图, 可以取得典型的抛物线图形.这反映出二氧化硅保护层对碳化硅氧化速率的阻止效果。

  氧化时, 若一起存在着能将二氧化硅薄膜移去或使之决裂的物质, 则碳化硅就易被进一步氧化。例如:铁、锰等金属有几种化合价, 其氧化物能将碳化硅氧化, 而且又能与二氧化硅生成低熔点化合物, 能腐蚀碳化硅。例如, FeO在1 300 ℃、MnO在1 360 ℃能腐蚀碳化硅;而CaO、MgO在1 000 ℃就能腐蚀碳化硅。

  水蒸汽与碳化硅在高温下反响适当激烈, 于1 100 ℃以上时, 视状况不同, 可生成硅、碳或二氧化硅。碳化硅在1 000 ℃左右时, 能与硫化氢等含硫化合物生成红棕色的硫化硅 (SiS2或SiS) 。这一反响也是碳化硅制品在烧成时色泽变红的原因之一。回来搜狐,检查更加多